万千的目光再一次刷地射向了山上一郎。
但他毫不在乎。
一个天才的设计方案?就能把arf193nm的波长变成134nm?
闹着玩呢这是?
台上,苏远山也在看着山上一郎,他知道这位老兄进尼康就在磨玻璃,对光源系统极为熟悉——反正苏远山在光学领域,在对方面前就是小学生级别。
但苏远山毫不在乎,也很能理解山上一郎为什么会在这种场合失态。
别说现在猛地听到远芯保密了三四年的技术,就算是历史上,当林本坚拿着详细的论证找上门的时候,尼康佳能都没正眼看人家一眼,并认为这家伙纯粹就是个疯子,让台积电好好管一管,找点药给他吃。
也就是asml当时人小势微,虽然被intel拉着进了euv联盟画了大饼,但在市场上,依旧不敌霓国人,必须弯道超车才能赢得了的样子……所以最终才选择了信任林本坚。
但苏远山也并没有回答山上一郎。
因为他看到,和山上一郎只隔着一个作为的李明柳已经看了过去。
“immersion。”李明柳身子前倾了一点,把自己暴露在了山上一郎的视线中,并给出了个英文单词。
“什么?”听到声音,山上一郎瞬间转头望向李明柳。
“immersion,浸润式光刻。”在远芯诸多技术大佬中,李明柳向来以严肃著称,常年执掌远芯第二大研发基地的他如今身上早就多了几分所谓的“威严”,凡事喜欢点到为止,不想说过多。
惜字如金的两句后,李明柳便恢复了坐姿。
台上,苏远山也只是一笑:“消息我是带到了,信不信那就……好吧,其实我是相信的。”
说完后,苏远山离开讲台,对台下微微鞠躬,然后退场。
直到这时,就如同一盆冰水上丢了一坨烧红的铁块,整个会场瞬间便沸腾了起来。
——和霓国人不一样,国内半导体行业对苏远山有着近似迷信一般的信赖,在先前短暂的懵懂状态后,此刻立刻陷入了兴奋和激动中,会场刹那间便变成了菜市场。
李明柳的声音说得并不大,靠后的与会人员并不能听清,但不妨碍他们挨个拍着前排的肩膀一路问下来。
在一片嘈杂中,山上一郎重新坐了下来。
他脑子慢慢恢复了清醒。
他理智上无法接受,但理智又告诉他,这……极有可能是真的。
因为苏远山,没有必要在这个时候这个场合来骗人。
——因为一旦被证实是假消息,那么非但是苏远山个人的声誉,宏芯的声誉,乃至整个内地半导体行业的声誉,都将受到毁灭性的倒塌。
浸润式光刻?
难道放水里?
疯了吧!
这时,苏远山的声音透过几个座位慢慢传来。
“通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水,减小物镜射出的光折射角,从而提升物镜的孔径,提高分辨率。根据cd=k1*λ/na,用水替代空气后,就相当于193nm波长等效缩短到134nm。”
“而且……它不需要重新研制光刻胶。”
苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人,嘴角微微一翘。